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中圖儀器VT6000高分辨率顯微鏡共聚焦光學(xué)系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),,基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,,共同組成高精度測量系統(tǒng),。能在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析,。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,,可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。
產(chǎn)品功能
(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,;
(3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能;
(4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;
(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;
功能特點(diǎn)
1,、測量模式多樣
單區(qū)域、多區(qū)域,、拼接,、自動(dòng)測量等多種測量模式可選擇,適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境,;
2,、雙重防撞保護(hù)功能
Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,,雙重保護(hù),;
3、分析功能豐富
3D:表面粗糙度,、平整度,、孔洞體積、幾何曲面,、紋理方向,、PSD等分析;
2D:剖面粗糙度,、幾何輪廓測量,、頻率、孔洞體積,、Abbott參數(shù)等分析,。
VT6000高分辨率顯微鏡共聚焦光學(xué)系統(tǒng)在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),,顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像,。它具有直觀測量的特點(diǎn),能夠有效提高工作效率,,更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。借助共聚焦顯微鏡,能有效提高工作效率,,實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作,。
一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),,實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,;
2)可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程,;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程;
4)幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,;
5)一鍵分析、多文件分析,,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,;
6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù)。
雙重防撞保護(hù)措施
除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),,保護(hù)儀器,,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
Y | 100mm | |
Z | 100mm | |
外形尺寸 | 520*380*600mm | |
儀器重量 | 50kg | |
測量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
視場范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度測量 | ||
寬度測量 | ||
XY位移平臺(tái) | 負(fù)載 | 10kg |
控制方式 | 電動(dòng) | |
Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
物鏡塔臺(tái) | 5孔電動(dòng) | |
光源 | 白光LED |
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